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AWL系列晶圓檢查系統_晶圓搬運_國產晶圓搬送機
發(fā)布時間：2023-04-28 09:48:38 瀏覽次數：98
SOPTOP全新半導體工業(yè)檢測產品——AWL系列晶圓檢查系統，兼具穩(wěn)定性和安全性，能夠安全可靠的傳送晶圓，適合于前道到后道工程的晶圓檢查。
一個晶圓在經過一系列復雜工序后終變成多個IC單元，期間晶圓需要依賴晶圓搬運機在處理站之間執(zhí)行快速、精確的傳送作業(yè)。納米級厚度的晶圓很容易在傳送過程中損壞，而且還須確保在工序中晶圓表面不得有臟污、缺陷等。
SOPTOP推出了AWL系列晶圓檢查系統（晶圓搬送機），擁有 AWL046、AWL068、AWL812三種機型，多類配置分別可適用于 4/6 英寸，6/8英寸、8/12英寸的晶圓檢測，適應范圍廣、搭配靈活 。
360°宏觀檢查
AWL系列具有宏觀檢查手臂，可以實現晶面宏觀檢查、晶背宏觀檢查 1 的 360°旋轉，更為容易發(fā)現傷痕和微塵。通過操作桿可隨意將晶圓傾斜觀察。晶面大傾斜角度70°，晶背 1 大傾斜角度 90°，晶背 2大傾斜角度 160°，利用旋轉功能、傾斜角度，完全可以目視檢查整個晶圓正反面及邊緣。
AWL系列具有宏觀檢查手臂，可以實現晶面宏觀檢查、晶背宏觀檢查 1 的 360°旋轉，更為容易發(fā)現傷痕和微塵。通過操作桿可隨意將晶圓傾斜觀察。晶面大傾斜角度70°，晶背 1 大傾斜角度 90°，晶背 2大傾斜角度 160°，利用旋轉功能、傾斜角度，完全可以目視檢查整個晶圓正反面及邊緣。
人機工程學設計
LCD 顯示屏，可為操作者提供更直觀的視覺體驗，可清晰的顯示當前檢查項目及次序，調試參數一目了然。手動快速釋放真空載物臺可提高操作者的舒適度和工作效率，充分體現了國產晶圓搬送機的人機工程學設計理念。
精密微觀檢查
采用專業(yè)半復消色差金相物鏡，可滿足明場、暗場、DIC、偏光等多種觀察方式。全新電動控制系統，可排查 μm 級異常，諸如孔未開出，短路，斷路，沾污，氣泡，殘留等。
采用專業(yè)半復消色差金相物鏡，可滿足明場、暗場、DIC、偏光等多種觀察方式。全新電動控制系統，可排查 μm 級異常，諸如孔未開出，短路，斷路，沾污，氣泡，殘留等。
應用領域
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